主要特點

       Hartmann波前傳感器（相干和非相干輻射）

       緊湊結構

       光化性能檢測

           -EUVL 等離子源

           -自由電子激光

           -HHG高次諧波束

       實時光學調整

       單個脈沖重復性：λ/116 (wrms)，for EUV (λ =13.5 nm)

技術規格

       波長范圍：<1nm~60nm（量子轉換涂層）

       視場：9mmX6.7mm（可選更大尺寸）

       動態范圍：14Bit

       Hartmann 盤：precision pinholes ?75μm, 250μm pitch

       傾角：±10°

       XY調節范圍：±10mm

       UHV兼容：CF63法蘭

Wavefront measurement of Free Electron Laser FLASH

(DESY/Hamburg) at λ=13.5nm, before (above) and after

(below) adjustment of beam line optics (B. Fl?ter, K.

Mann, K. Tiedtke et al. NIM A 635, S108–S112 (2011) )

Spot pattern @ λ=1.5 nm

(LCLS / Stanford)

Reconstructed intensity profile

光束測試軟件

測試基于ISO標準

巨力光電（北京）科技有限公司立足于北京市副中心通州區，專門經銷歐洲、美國、日本等國家制造的科學儀器設備，為客戶提供完備的售前咨詢和售后服務、技術支持。公司骨干在該行業有超過10年的經驗，專業的服務水平、完善的售后服務體系。

目前主要產品涉及材料科學、微納米技術、表面測量和光電器件、光伏產品、半導體器件的檢測與研發等領域。公司本著以科技為導向、以客戶為中心、以服務為宗旨，竭誠為新老客戶提供優質的服務！